主题:请教关于Veeco公司的DI D3100扫描探针显微镜的 隧道电流问题

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miyoung
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我们现在想用Veeco公司的DI3100扫描探针显微镜的扫描隧道模式下,想进行纳米加工。但问题是探针和试件间距离很近时,加1~15V范围内的脉冲电压,探针针尖材料滑移和试件瞬间产生接触,这样的话不知道这个仪器的隧道电流反馈系统能否接受这突然增大的电流。

望各位老师和用过此设备的各位高手请多多指教,谢谢!
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titancrane
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仪器为了防止瞬间击穿导致的大电流,一般都会有限流措施,估计没问题。
不确定的话写个email问下他的技术人员就行了。
miyoung
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