主题:问:不平整样品的EDS能谱出现异峰

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ljiang8
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发现当样品不是平整的,而是探测区域附近有较大的起伏(几百微米或更大), EDX总出现一个Al峰, 应当是x信号被部分阻挡并能量吸收的原因。 只是不明白为什么都是Al(1.49 KV) 这个位置呢?仪器是4500。

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毒菇九剑
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你做的是什么样品?能说一下吗?本身有没有Al?

原文由 ljiang8 发表:
发现当样品不是平整的,而是探测区域附近有较大的起伏(几百微米或更大), EDX总出现一个Al峰, 应当是x信号被部分阻挡并能量吸收的原因。 只是不明白为什么都是Al(1.49 KV) 这个位置呢?仪器是4500。

沉舟
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ljiang8
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谢谢了,按你所说我看了以前的问答。不过还是有点疑问,
1)我并不是在低真空下做的能谱。
2)Al是有可能来源于样品台(样品本身没有Al)。 样品倾斜时(比如放在45度的斜坡样品台上),还比较好理解。可如果是样品及样品台是平放的并且样品非常之厚,仅仅因为探测区域处在‘井底‘,或在表面台阶的边上,怎么会有AL信号呢?
毒菇九剑
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把加速电压降低,看看铝峰有没有消失。
再用标样做一下谱峰校正,看看是不是峰位漂移引起的误标。
jbli
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一个是电子散射所至,把倍数放高试试;还有可能是仪器接地不好,出现的感应信号,都看看吧
diardo
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ljiang8
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可能是来自于样品台的散射。因为好像只有比较靠样品边缘的地方才有这种现象。

谢谢大家的指教了。
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