扫描电镜SEM

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请问扫描电镜是否有电子束的挡板，可以在关闭的时候截断电子束？
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仪器专场展示：电子显微镜电子显微镜附件离子溅射仪

关键词：扫描电镜电子束

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thb2520

板凳只看作者回复于：2007-11-8 12:12:00

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引用原文由 guoning_1000 发表:
干嘛要截住电子束？

做测试用，打开挡板可以照射样品，关闭可以迅速截断电子束，停止照射。

jeolzxj

3# 只看作者回复于：2007-11-8 16:44:00

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Beam Blank功能，几乎每个电镜都可以

huangtao0307

4# 只看作者回复于：2007-11-8 21:59:00

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兄弟用那个厂商的电镜

电子束是可以调的

不过可能设备不一样，调法也会不一样

thb2520

5# 只看作者回复于：2007-11-8 22:59:00

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引用原文由 huangtao0307 发表:
兄弟用那个厂商的电镜

电子束是可以调的

不过可能设备不一样，调法也会不一样

日本电子的较早型号，具体我有点不记得了，但看了说明书上面也没有说有那个Beam blanker

kapabulanka

6# 只看作者回复于：2007-11-9 11:51:00

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freeze 状态下电子打不到样品，run 状态下电子照射样品。

[Last edit by kapabulanka]

thb2520

7# 只看作者回复于：2007-11-9 18:29:00

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引用原文由 kapabulanka 发表:
freeze 状态下电子打不到样品，run 状态下电子照射样品。

我刚查到使用的是日本电子JSM-6380型电镜！你的建议很好，非常感谢您！

wj198010

8# 只看作者回复于：2007-11-12 14:04:00

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场发射有，钨灯丝没有

amoslau

9# 只看作者回复于：2007-11-12 15:02:00

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引用原文由 wj198010 发表:
场发射有，钨灯丝没有

W的也有，至少也应是配件
beam blanker 不是 isolation valve

[Last edit by amoslau]

RENXIN

10# 只看作者回复于：2007-11-19 21:22:00

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看来这里需要扫盲。
BEAM BLANKER都是电磁式的，一般的钨灯丝电镜，只要有电磁式电子束对中功能的，都有这个功能。原理是利用对中线圈将电子束偏转到一边。一般的场发射电镜很类似。
高端的场发射电镜，特别是半导体行业用来蚀刻作业的，电子曝光作业的，或是有双束的，在镜筒内阳极部位安装了专用的工业强度的电磁式偏转板，可以高频率的偏转电子束，完成需要短时间的强曝光的各种作业。

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amoslau

11# 只看作者回复于：2007-11-20 10:30:00