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主题：【求助】喷金一般多厚

浏览0 回复7 电梯直达
agenesy
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发表于：2009/11/10 21:54:05 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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大家好。
请问在做SEM观察的时候，喷金厚度一般控制在多少纳米啊？看到网上说一般20纳米。但是书上又说10纳米镀金比较好。同事有的说50纳米左右。
厚度太小了怕不导电，厚度太大了怕影响样品。到底多厚的镀金膜比较好呢?

我这个样品是铁电晶体，主要想用SEM观察它的铁电畴结构，为了便于观察，样品是做了化学刻蚀的。但是以前没有镀金SEM观察的结果都不清楚，希望这一次在晶体表面镀金会提高分辨率。另外如果镀金以后还是不能用SEM观察清楚，不知道大家有没有别的比较好的仪器推荐的可以看晶体的铁电畴的。谢谢了！
推荐答案：驰奔回复于2009/11/11
个人的经验：溅射黄金一般在10-20nm，导电性能比较好。钨灯丝扫描电镜几乎不受影响。
补充答案：

fengyonghe回复于2009/11/11

喷金的厚度取决于金的二次电子发射的深度。金的原子量和密度都比较大，它的二次电子发射的深度只有10nm左右，所以喷金厚度10—20nm够了。

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2009/11/11 10:02:42 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
个人的经验：溅射黄金一般在10-20nm，导电性能比较好。钨灯丝扫描电镜几乎不受影响。
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fengyonghe
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2009/11/11 15:27:26 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
喷金的厚度取决于金的二次电子发射的深度。金的原子量和密度都比较大，它的二次电子发射的深度只有10nm左右，所以喷金厚度10—20nm够了。
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figott
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2009/12/9 12:28:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般喷金钯合金多吧，厚度估计是10nm左右比较不错。
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liupanpan
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2013/11/6 22:54:42 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
初来驾到，学习中
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胖胖熊
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2014/5/12 17:20:26 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个厚度很难掌握吧，凭经验吧
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zhoxjjj
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2014/5/21 16:58:04 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 figott(figott) 发表:
一般喷金钯合金多吧，厚度估计是10nm左右比较不错。


请问，怎么知道喷了多厚呢？
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fengyonghe
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2014/5/21 22:08:07 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
每台仪器说明书都有推荐的操作要领吧。
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2014/5/22 20:55:14 Last edit by fengyonghe
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