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主题：【求助】电子级硅烷或氯硅烷的资料

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laters
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发表于：2009/12/09 14:45:14 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问色谱测试电子级硅烷或氯硅烷纯度的方法目前有公开的吗?
哪位知道请指点下,暂时找到的，氦离子化检测器貌似可以，不过相关资料也比较少
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2009/12/9 14:52:49 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 laters(laters) 发表:
请问色谱测试电子级硅烷或氯硅烷纯度的方法目前有公开的吗?
哪位知道请指点下,暂时找到的，氦离子化检测器貌似可以，不过相关资料也比较少


看看这个标准。是否有用。有色谱检测的内容。
电子工业气体：硅烷(SiH4)1995.pdf
附件：
电子工业气体：硅烷(SiH4)1995.pdf
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独钓寒江雪
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2009/12/9 19:48:30 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 laters(laters) 发表:
请问色谱测试电子级硅烷或氯硅烷纯度的方法目前有公开的吗?
哪位知道请指点下,暂时找到的，氦离子化检测器貌似可以，不过相关资料也比较少



氦离子化检测器没有问题，其实检测硅烷和其他气体为什么区别，只是硅烷是自然性气体需要增加一道预处理的采样系统而已，现在国内也有在做这种处理系统的，记得上海华爱的氦脉冲放电离子化色谱就有专门做硅烷的系统，其他国外像高麦也有这种专用色谱
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songzf1981
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2010/1/28 16:30:37 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电子级硅烷杂质含量比较少，最近我们也在做这个，我有美国半导体行业标准的硅烷分析标准，从老板那里搞的，没有电子版的，在分析其中的杂质时，用的高麦的DID检测器，HAYESEPＤ柱，呵呵，有问题可以交流。
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happy水中月
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2010/1/28 19:28:21 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 songzf1981(songzf1981) 发表:
电子级硅烷杂质含量比较少，最近我们也在做这个，我有美国半导体行业标准的硅烷分析标准，从老板那里搞的，没有电子版的，在分析其中的杂质时，用的高麦的DID检测器，HAYESEPＤ柱，呵呵，有问题可以交流。

方便的话你可以使用相机拍照后传图片的，这样看着也可以的。
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caoyured
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2010/1/29 14:20:06 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
国内公开的方法几乎没有，都要靠大家自己摸索
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liqing1228
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2010/3/26 10:55:34 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
国内上海华爱色谱用氦离子化检测器做过多家硅烷厂家产品，有需要资料的可以发sd156@126.com
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