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透射电镜（TEM）
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主题：【讨论】有关TEM制样方法

浏览0 回复3 电梯直达
ppttmmyy
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发表于：2023/08/12 00:39:03 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
TEM要求测硅片上磁控溅射生长磁性多层膜，FIB制样过程需要真空，需要制样结束后是通过真空互联系统转移到TEM中来测试，整个过程不能爆大气！实际制样中应该怎样操作？
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洪星二锅头
coime
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2023/8/24 17:05:26 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
TEM装载过程很难做到不与大气接触，我目前还没有听过有真空装载到样品杆然后加载到TEM的，唯一可能的就是利用SEM直接来实现部分TEM功能，目前SEM已有这样的案例
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蓝莓口香糖
drizzlemiao
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2023/8/25 12:39:32 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个有办法实现，但是比较繁琐。FIB加工完后可以有真空转移舱把样品拿到手套箱里，在手套箱里把样品装上TEM真空转移样品杆，然后再把杆子拿出来送到透射电镜里。但是有这一整套设备的用户很少，而且这种都是特殊用户，基本上是自己用，没有对外服务。
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田仕家
v3078320
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2023/9/3 0:02:05 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
找个三方测试机构问问就行，实现不难。生物或者锂电有冷冻传输样品杆，比如Fischione Cryo Transfer Tomography Holder（Model 2550）
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