主题:【求助】电子扫描电镜样品台故障

浏览 |回复5 电梯直达
m3256722
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dancerdk
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是卡住了吗?还是说你因为担心有报警不敢取了?
如果不是卡死了,可以先取下来用洗耳球吹一下样品台再试试。
m3256722
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原文由 dancerdk(3036378) 发表:是卡住了吗?还是说你因为担心有报警不敢取了?如果不是卡死了,可以先取下来用洗耳球吹一下样品台再试试。
嗯嗯,就是卡住了,一取就发警报声,然后低头看才知道样品台倾斜了,就像下图,昨天刚开机,没找到样品台,然后就点了下方的stage initialise,结果就出现问题了,想知道这个样品台故障算不算大问题,最后显示的事错误代码648,也就是z轴下不到最低位置,求解
m3256722
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原文由 dancerdk(3036378) 发表:是卡住了吗?还是说你因为担心有报警不敢取了?如果不是卡死了,可以先取下来用洗耳球吹一下样品台再试试。
就是下图这么个情况,不知道问题算不算大,能否留下电话方式,咨询一下你,不胜感激
m3293778
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蔡司机台有时比较SB,我们部门的ultra plus也是经常出bug。
你可以再一次初始化看看,不行开大仓直接取出来
m3310354
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楼主,你好。我们之前也遇到过这种问题。成因:不应在样品桩存在的情况下初始化。解决方案:一:尽量打开舱门直接取出样品台。二:若样品台卡住,拿不出来。在获得权限后(不是按ctrl s 直接进入的界面,是另外一个需要输入密码的界面),选择“强制初始化”--进度条走完后,用“操作杆”--样品桩运动过程中,迅速取出样品桩(小心手指被夹伤)--取下样品桩,在操作页面正常初始化即可。如若不行,关机重启即可。