需要建设洁净室的应用方向：
在集成电路制造和高纯化学品行业中，由于元素通常以ppt和亚ppt水平进行量测，因此半导体实验室通常会安装专用洁净室 。
ICP-MS在环境、食品、制药和临床等行业中进行微量元素分析，虽然这些实验室通常不需要特殊的洁净实验环境即可达到所需的方法检出限，但设计和建造方式应尽量减少元素污染源 。
洁净室的级别：
对于ICP-MS分析，样品前处理间要求1000级洁净度，缓冲区按洁净房10000级设计。辅助间洁净度不要求，但要设计隔音，并将机械泵、循环水泵、UPS等放置在辅助间 。
根据国际标准化组织（ISO）的分类，洁净室根据每单位实验室空气体积0.1~5微米之间的各种尺寸颗粒的数量进行分类。例如，ISO 3 类实验室（相当于早期的美国联邦标准 209E 。
前处理室是否需要同步建立洁净室：
是的，由于ICP-MS可分析到ppt级的样品，器具、水和酸等都要超干净，方法及标准溶液的配制都要求要高。因此，同步建立洁净室，保证器皿、试剂、水等尽可能达到要求是必要的 。