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主题：【讨论】ICP

浏览0 回复16 电梯直达
威钢
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发表于：2017/02/08 08:17:31 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们单位的ICP能正常点火，但点火后火焰闪烁，然后就自动熄灭，电脑上没有故障报警，打电话问工程师也没有明确哪里出了故障。请各位大师指点下怎样处理？
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2017/2/8 8:29:45 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能是气体纯度，流量控制或者RF有点儿问题，建议有条件可以换气体，或者重新把矩管安装维护一下，确认气体流量正常。祝你好运！
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威钢
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2017/2/8 8:32:26 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们单位的ICP能正常点火，但点火后火焰闪烁，然后就自动熄灭，电脑上没有故障报警，打电话问工程师也没有明确哪里出了故障。请各位大师指点下怎样处理？
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威钢
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2017/2/8 8:39:21 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sdlzkw007(sdlzkw007)发表:可能是气体纯度，流量控制或者RF有点儿问题，建议有条件可以换气体，或者重新把矩管安装维护一下，确认气体流量正常。祝你好运！
气我换了，矩管也清洗从新安装了，不过过几天点火又能稳定一定时间？？
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砂锅粥
czcht
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2017/2/8 11:25:07 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
雾化器有没有堵？进样系统会不会漏气？排废液通不通畅？
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JOE HUI
xurunjiao5339
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2017/2/8 14:16:16 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 威钢(v2982167) 发表:
气我换了，矩管也清洗从新安装了，不过过几天点火又能稳定一定时间？？
稳定后还最终熄灭吗？
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JOE HUI
xurunjiao5339
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2017/2/8 14:31:06 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sdlzkw007(sdlzkw007) 发表:
可能是气体纯度，流量控制或者RF有点儿问题，建议有条件可以换气体，或者重新把矩管安装维护一下，确认气体流量正常。祝你好运！
我们 这款ICP是MFC流量控制，RF功率管老化的话直接点不起火了
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威钢
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2017/2/8 18:41:13 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 砂锅粥(czcht)发表:雾化器有没有堵？进样系统会不会漏气？排废液通不通畅？
雾化器不开，进样系统不工作还是一样现象
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威钢
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2017/2/8 18:53:24 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 JOE HUI(xurunjiao5339)发表:
原文由  威钢(v2982167) 发表:
气我换了，矩管也清洗从新安装了，不过过几天点火又能稳定一定时间？？
稳定后还最终熄灭吗？
稳定时间不定有时几分时钟，有时要长些，如果稳定几分钟后就熄灭了。
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abcpgf
abcpgf
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2017/2/11 11:06:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
辅助气压可能有点问题，或者RF高压器有点问题。
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威钢
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2017/2/13 7:59:47 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 abcpgf(abcpgf)发表:辅助气压可能有点问题，或者RF高压器有点问题。
辅助气我查了是正常的，我也发觉可能是RF和高压发生器有问题，领导不让动，这个星期厂家来人修，看看是不是和我们判断一样
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