主题:【讨论】见识下VARIAN 系列ICP的RF功率管功率管设备及附属工作图

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JOE HUI
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之前设备工作中频繁熄火,考虑到设备使用已经到了第七个年头,一般很少对设备核心部件做维护,周五,工程师上门对设备做了检查和评估,如下图:

VARIAN 700系列的RF工作仓还是挺占空间的,上图是清理灰尘后的

RF功率管是MADE IN USA,设备点火后功率管是烧的通红的

打开时候里面灰尘很多,工程师使用小毛刷和无尘纸擦了好久,VARIAN 系列通过捕风对RF功率管工作和设备内部降温,有些设备是通过水冷的方式给RF功率管工作和设备内部降温,比如利曼的ICP,设备清洁维护不到位的话,特别是使用时间比较长的设备问题还是容易爆发的,您的设备是否也出现过类似问题,欢迎讨论
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tang566
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没清理前,功率管上的灰尘多吗?
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2017/6/12 16:38:41 Last edit by tang566
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JOE HUI
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原文由 abcpgf(abcpgf) 发表:
功率管更换比较频繁了。
坏了就得换了
JOE HUI
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原文由 tang566(tang566) 发表:
没清理前,功率管上的灰尘多吗?
有灰尘,周边灰尘很多
JOE HUI
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原文由 tang566(tang566) 发表:
清理RF工作仓有那些益处?
灰尘多造成短路,设备点火后熄火报错等信息
abcpgf
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原文由 JOE HUI(xurunjiao5339) 发表:
灰尘多造成短路,设备点火后熄火报错等信息
只是清理灰尘,没有更换功率管就好了?
JOE HUI
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原文由 abcpgf(abcpgf) 发表:
只是清理灰尘,没有更换功率管就好了?
问题依旧,还是需要更换
abcpgf
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原文由 JOE HUI(xurunjiao5339) 发表:
问题依旧,还是需要更换
功率管也是一种耗材,时间久了就需要更换的。
sdjnqcx
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