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主题：【讨论】等离子体 ON 监视

浏览0 回复2 电梯直达
JOE HUI
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发表于：2017/09/01 22:13:47 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
VARIAN 700系列中，在炬室中安装了一根光导纤维，用来检测等离子体。如果等离子体熄灭，计算机软件中出现 'Plasma has gone out' 提示信息，同时自动关闭RF发生器及气路。有时候软件报错提示等离子体熄灭，可以试着用酒精粘着棉签擦试下光纤，等离子体 ON 监视光纤使用，你都了解吗？
该帖子作者被版主 tang566加 2积分， 2经验，加分理由：发贴
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2017/10/31 22:42:55 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般没维护，有报错时才处理。
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JOE HUI
xurunjiao5339
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2017/11/1 8:12:14 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tang566(tang566) 发表:
一般没维护，有报错时才处理。
探头上面脏了，表面被灰尘覆盖，仪器点火后熄火就报错！
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