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主题：【求助】捷岛1620后进样口流量不稳，上下波动。

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Insp_078a148f
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2020/1/7 12:42:19 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xiao-jin(xiao-jin) 发表:建议先向仪器厂家售后服务咨询一下，不要盲目自行拆动。
厂家工程师太远了，如果买配件的话不能用还不能退，
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lhl
lhl8595
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2020/1/7 19:30:07 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是电子流量控制吗？如果是，可能控制器有故障了。毛刺的可能原因有，1气源不干净，2收集极或喷嘴脏，3氢空尾吹流量控制不稳
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zyl3367898
zyl3367898
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2020/1/7 22:12:53 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果是EPC出问题，自己修不了，可能要更换。
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avih1981
v2741071
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2020/1/11 11:20:55 14楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以按上面的方法逐步排查
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手机版： 捷岛1620后进样口流量不稳，上下波动。
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