主题:【已应助】安家的8890联用问题

浏览0 回复16 电梯直达
嘤人而彰
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昨天下午4点抽真空,现在水空气检查过不了,水正常,氮氧在限值附近。之前都是2.5%的氮。昨天刚换了柱子,是我抽个时间不够吗
推荐答案:symmacros回复于2021/04/08
估计是漏气,柱子两端和动过的地方仔细检查一下,特别是传输线接头。
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m3123583
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看不清楚图片,看你这个界面应该是7000。看一下分子泵转速和功率,正常的话就哪里有点微漏了。
symmacros
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估计是漏气,柱子两端和动过的地方仔细检查一下,特别是传输线接头。
zhmm424313
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检查下各个接口,没问题的话,多抽段时间,到中午再看看
深蓝
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xiaogumd11
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检查下各个接口,在柱温度不高的情况下,用扳手轻轻将柱接头拧一下。
通标小菜鸟
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系统可能又微漏,因为之前换过柱子,动过的地方再检查一下,然后继续抽真空再看
myoldid
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换了柱子就再把进样口和传输线螺母再拧紧1/8圈,注意密封垫要新的。再更换隔垫,检查下MS的放空螺母是否完全拧紧的。
嘤人而彰
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原文由 myoldid(v2963297) 发表:换了柱子就再把进样口和传输线螺母再拧紧1/8圈,注意密封垫要新的。再更换隔垫,检查下MS的放空螺母是否完全拧紧的。
ms端的没拧紧,晕了,低级错误??
嘤人而彰
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原文由 m3123583(m3123583) 发表:看不清楚图片,看你这个界面应该是7000。看一下分子泵转速和功率,正常的话就哪里有点微漏了。
天,竟然没传原图。。
时光左岸L
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