主题:【讨论】溅射仪镀金一次有多厚?

浏览 |回复27 电梯直达
小不董
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小不董
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我问日本电子的工程师,他们也不知道,后来问日本那里的工程师,也没有给出个明确答案。一般大概3-4nm
guanjun19860820
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原文由 doxw0323 发表:
rt,这个和镀金时间和电流有关系,但具体关系有谁知道吗?大概的厚度能知道吗?

我也很想知道!
天下至道
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qqbrotton
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与样品放置的位置有关,在确定的位置和电流下,与时间关系有一条曲线
春天的桃子
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wildonkey
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貌似和样品高度也有关系,不同厂家的产品也有一定差别,真空度的高低是不是也有影响?
heihei727
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原文由 273557488 发表:
15ma,60s  镀金  10nm,日立工程师说的

好像镀金厚度与电流,时间有关的,各厂家应该有说明
个人感觉好像也与样品表面到金靶距离有关吧,不知是否准确
prodigy38
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原文由 doxw0323 发表:
rt,这个和镀金时间和电流有关系,但具体关系有谁知道吗?大概的厚度能知道吗?

看一下说明书, 里面应该有个线形图, 可根据时间和电流来决定膜厚
xcz111
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xcz111
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电流越大,溅射下来的金颗粒越大,在同样的时间下就越厚。