主题:【讨论】溅射仪镀金一次有多厚?

浏览 |回复27 电梯直达
fen901603
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
wanglx-123
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
以前我读研究生的时候老师说是单分子层,具体多少还真是不清楚。
guanjun19860820
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
跟时间、电流都有关系,我一般是喷2分钟,一般也就是10-20个纳米吧!
zhan0707
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
与溅镀的功率、时间和金靶的厚度有关系
zhan0707
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
再补充一点,可以用4探针去测一下薄膜的厚度。
tedyli2007
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
我以前用同一个样品喷了20次,然后用FIB切过,应该几个nm吧,跟靶材使用时间和靶材与样品的距离有关,真空度会影响成膜速率和颗粒,实际应用中喷一次对样品形貌没影响
金靶
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
金靶菜鸟初来报到。不知在座现在还用没用到金靶?