实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8038515今日发帖：284 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
扫描电镜（SEM/EDS）
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：分辨率与表面结构

浏览0 回复4 电梯直达
halerok
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2005/03/21 10:52:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最近看资料提到加速电压对图象质量的影响，有一点不明白：随着加速电压的增

大，分辨率越来越高，而表面结构越来越不清楚，这是为什么呢？还有其中提到

边缘效应，不知道是什么，请大家帮忙，谢谢！
为您推荐
近期热榜
热门活动
您可能想找: 气相色谱仪(GC) 询底价
选参数 看心得 找厂商 查方案
专属顾问快速对接
立即提交
可能感兴趣
zemb
zemb
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2005/3/24 14:07:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
个人理解：
    扫描电镜的分辨率取决于下面的两个因素：
    1、电子束束斑的大小；
    2、样品上激发出二次电子的范围。
    前一个因素是由仪器的性能决定的。而后一个因素主要取决于加速电压和样品。重元素样品电子束扩散的范围和深度都小，分辨率较高，所以做分辨率实验都用金样品。对于普通金属和其它轻元素样品，分辨率怎么也达不到那么高，就是因为电子束扩散范围较大。要提高轻元素样品的分辨率，就必须降低加速电压，减小电子束扩散范围。对于同一样品，加速电压越高，电子束渗透深度越深，所看到的图像就不是表面的形貌，而是有一定深度的样品信息的综合，掩盖了一些表面的形貌特征。如果采用较低的加速电压，电子束渗透深度较小，所看到的形貌就接近于表面形貌了。这就是场发射扫描电镜所具有的良好的低加速电压性能的优势。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
halerok
halerok
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2005/3/25 9:27:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zemb 发表:
“对于同一样品，加速电压越高，电子束渗透深度越深，所看到的图像就不是表面的形貌，而是有一定深度的样品信息的综合，掩盖了一些表面的形貌特征。”


加速电压增大，电子束渗透深度加深，激发的二次电子数明显减少，观察到的图象中大多是采集的背散射电子信息，所以表面结构变的不清楚，对吗？

赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
shxie
shxie
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2005/5/3 17:14:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊



加速电压增大，电子束渗透深度加深，激发的二次电子数明显减少，观察到的图象中大多是采集的背散射电子信息，所以表面结构变的不清楚，对吗？


反了吧？或者都增大
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
dbmbobo
dbmbobo
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2006/8/29 21:40:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分辨率受电子作用范围影响，表面形貌观察受加速电压影响
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
猜你喜欢 最新推荐 热门推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁