以下是我厂中某两个制程所使用的在线分析仪
厂牌 型号 分析成份 分析原理 检测范围
YOKOGAWA ZC8C O2 氧化锆 0~21%
HORIBA EN-661 NO CO SO 红外线 0~500PPM
FUJI ZRG NO CO SO 红外线 0~500PPM
SENSOTECH LS20 DMF溶液浓度 超音波 60-80%WT
Maihak OXOR 615 O2 气体磁化(顺磁性) 0~25%
GLI SEN 692E Conductivity(电导) 离子导电 0 ~ 50 US/CM
THEMRO 42H NOx 化学发光法 0~1400ppm
ESC VERSION P-5B Particulate(粒子) 近红外线光折射法 0~8300mg
THEMRO 48C CO 红外线式 0~200ppm
THEMRO 43C SO2 红外线式 0~200ppm
THEMRO 51 THC 火焰离子分离法(FID) 0~200ppm
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