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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】请教有关“扫描”的问题？

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cndy_fen

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发表于：2008/12/19 14:52:37 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我在一本书上看到这样的叙述：样品上被扫描区的宽度既决定于电子束的扫描角，也决定于样品离末光阑的位置，即工作距离。扫描电流大则扫描角大，其放大倍率低。扫描角一定时，工作距离越大，放大倍率越低。
我的问题是：1.为什么扫描电流大则扫描角大？
2.为什么扫描角一定时，工作距离越大，放大倍率越低？扫描角已经一定了，样品上的扫描面积还会变吗？放大倍率还会变吗？是不是我把扫描角的概念弄错了？
3.加速电压，电流，电子束直径，他们之间有什么关系？我认为的是加速电压大不一定电流强，电流强电子束直径就大，这样对吗？
谁能帮我弄清楚，最好能说的够详细。因为我这个人比较笨，呵呵！

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2008/12/21 23:24:29 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 cndy_fen 发表:
我在一本书上看到这样的叙述：样品上被扫描区的宽度既决定于电子束的扫描角，也决定于样品离末光阑的位置，即工作距离。扫描电流大则扫描角大，其放大倍率低。扫描角一定时，工作距离越大，放大倍率越低。
我的问题是：1.为什么扫描电流大则扫描角大？
2.为什么扫描角一定时，工作距离越大，放大倍率越低？扫描角已经一定了，样品上的扫描面积还会变吗？放大倍率还会变吗？是不是我把扫描角的概念弄错了？
3.加速电压，电流，电子束直径，他们之间有什么关系？我认为的是加速电压大不一定电流强，电流强电子束直径就大，这样对吗？
谁能帮我弄清楚，最好能说的够详细。因为我这个人比较笨，呵呵！

1.为什么扫描电流大则扫描角大？通过扫描线圈的电流是锯齿波。还是上面的道理，较大的扫描线圈电流，产生较强的偏转磁场，所以，扫描电流大则扫描角大。
2.为什么扫描角一定时，工作距离越大，放大倍率越低？这个问题你写一个大写的A，你把横线上下移动时横线的长度是不是变化了。所以。扫描角一定时，工作距离越大，扫描范围越大，放大倍率越低。这与光学显微镜类似，倍率越低，视场直径越大。
3.加速电压，电流，电子束直径，他们之间有什么关系？加速电压，束流，束斑三者之间是曲线关系。若加速电压不变，束流大则束斑大。如束流不变，加速电压高则束斑小。若束斑不变，加速电压高则束流大。

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