主题:【FAQ】有关能谱仪的校准问题+电子探针和扫描电镜的区别

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sept
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原文由 天黑请闭眼(shxie) 发表:
本版第四页上有个主题:请教有关能谱分析
里面halerok朋友回答过类似的问题:

少尉:halerok(halerok)
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分析型扫描电子显微镜方法通则

2.7 检测灵敏度Detection Sensitivity
检测灵敏度,即最低探测浓度,取决于最小探测峰值。能够与背景分解的峰的最低计数,称为最小探测峰值,或探测极限Detection Limit。

4.2.2 X射线能谱仪的技术指标
X射线谱线分辨率:155eV~133eV
元素分析范围:Na11~U92 铍膜窗口
C6~U92 超薄窗口
B5~U92 极超薄窗口、氮化硼窗口或铍膜切换窗口
检测灵敏度:0.1%~0.5%重量。

第五页上主题:能谱仪的计数率

少尉:zemb(zemb)
积分:202.2  声望:17
能谱仪的计数率与下列因素有关:
1、加速电压。一般做金属样品可选择在20kV左右。
2、探针电流。一般样品可选100~300pA(指达到样品上的电流)。
3、工作距离。做能谱分析时,工作距离应保持在特定的分析工作距离,不能偏差太大,电镜都会给出这个参数。
4、能谱探头距样品的距离。这个距离越近,计数率越高。
5、样品倾斜角。样品分析点的平面应为水平状态或向能谱仪探头方向倾斜,否则计数率会下降,特别是高低不平的样品不能对分析点有遮挡。
在此条件下,计数率应为1000cps以上。一般分析计数率在1000~2000cps为宜。
里面还有一些建议,你自己看一下是不是能有点什么启发?Good Luck!



稍微补充一点,因为科学在发展,技术在进步,当前的很多指标已经远高于过去。比如:能谱检测的最低元素可以从Be始,当然仍然有某些设备是从B始,但多数高级能谱仪均从Be始。比如:能量分辨率也有大大提高,最小目前可以得到121eV的实际分辨率。

比如以前液氮能谱仪的计数率普遍较低,而现在更新的电制冷能谱仪的计数率已经远远超出液氮的,多数可以至少保证在5kcps或1wcps下工作。