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原文由 shxie 发表:
我觉得面分布，主要靠长时间收集信号才能得到比较好的效果，你说的含量问题应该就是普通能谱的含量阈值吧。具体数值要看轻元素还是重元素，一般轻元素的含量要求要大于重元素。一般来说是0.x%
另外元素含量的分析还有相对误差，跟元素在整体中的含量有关：
主元素(20%wt)允许的相对误差<5％。
3%wt <含量<20%wt的元素，允许的相对误差<10％。
1%wt <含量<3%wt的元素，允许的相对误差<30％。
0.5%wt<含量<1%wt的元素，允许的相对误差<50％。
原文由 shxie 发表:原文由 yiruo 发表:
嗯，个人观点：EDS面扫主要是看目标物质上是否某些元素富集，相对于背景有大的信号反差就可以，如果要说明该元素或者整个材料分布均匀，何不用XRD呢？尤其是低含量的元素，有些时候信号量不足时间又短的情况下，根本就是不可信的。我们的面扫一般都做2－3个小时，以得到最好的效果，短时间的信号量实在太差了。
还有，据说现在面扫可以很快了，10分钟左右就搞定，那么应该是信号量也提高了不少吧？
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另外一贴的处理方法我已经投条给你，如果不能及时处理我来删除就扣的多了。