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主题：【求助】能谱分辨率下降该怎么处理

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haishangpiao09
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发表于：2009/08/25 14:34:57 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们的电镜前段时间进行了维修，维修后发现能谱分辨Ag、Cd的能力下降了，不含Cd的样品会打出Cd9%，10%，在维修之前顶多有时误判会判个4%左右，现在误差极其大，请教各位我该怎么处理这个问题？谢谢了
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2009/8/26 0:20:49 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
修电镜不大会影响到能谱
1）    首先你应该测量能谱分辨率，看其分辨率与标称值有多大区别
2）    对能谱仪进行全校正
3）    在测样品之前最优化一次
4）    时间常数（处理时间）选32微妙或40微妙，这个对分辨率影响比较大。
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haishangpiao09
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2009/8/26 7:58:53 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe 发表:
修电镜不大会影响到能谱
1）    首先你应该测量能谱分辨率，看其分辨率与标称值有多大区别
2）    对能谱仪进行全校正
3）    在测样品之前最优化一次
4）    时间常数（处理时间）选32微妙或40微妙，这个对分辨率影响比较大。

问题是我们没有测分辨率的Mn标，上次我只是用Cu和Al分别看了一下它们的峰的偏移，发现偏移了0.1.上次厂家工程师来的时候测了一下分辨率发现降了一些，原来是127现在126了，但我没想到影响会这么大，当时也就没在意了。
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2009/8/26 11:52:37 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
126比127好，这个数字越小越好，126是很好的。看来你的问题不在分辨率。还是运行校正程序吧。
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alexzhtang
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2009/8/26 17:52:07 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
能谱用了一段时间后发现有点漂移就应该进行全校正一下，并不是一定要用Mn的标样。用一个纯元素的标样就可以了，我们进行校正就是用的纯Co的标样。
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2009/8/27 0:21:47 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
除了用Co标样校正之外，还要按能谱工作时使用的加速电压，选取相应的标样进行最优化。
常用标样：Si 5KV,  Ti 10KV,  Co 20KV  大部分测试工作用20KV所以用Co标样。
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haishangpiao09
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2009/8/28 16:00:14 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe 发表:
126比127好，这个数字越小越好，126是很好的。看来你的问题不在分辨率。还是运行校正程序吧。

分辨率怎么会越来越好呢，我们的电镜上次维修时，能谱探头侧壁冒油了，上次把探头侧壁的油檫掉了，估计是这原因导致能谱探测分辨性能下降了
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2009/8/28 21:31:58 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 haishangpiao09 发表:
原文由 fengyonghe 发表:
126比127好，这个数字越小越好，126是很好的。看来你的问题不在分辨率。还是运行校正程序吧。

分辨率怎么会越来越好呢，我们的电镜上次维修时，能谱探头侧壁冒油了，上次把探头侧壁的油檫掉了，估计是这原因导致能谱探测分辨性能下降了

能谱分辨率的验收标准是优于133ev ，新能谱分辨率大多在129ev ，这个数字越小越好。你怀疑分辨率下降了，只有拿分辨率的数据说话。我和alexzhtang 都希望你做一下校正程序，再看结果如何。Co标样也没有吗？再有，分辨率对时间常数（处理时间）是敏感的，我不知道你说的分辨率下降了，是否和这个设置有关系。
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haishangpiao09
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2009/8/29 17:08:08 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe 发表:
原文由 haishangpiao09 发表:
原文由 fengyonghe 发表:
126比127好，这个数字越小越好，126是很好的。看来你的问题不在分辨率。还是运行校正程序吧。

分辨率怎么会越来越好呢，我们的电镜上次维修时，能谱探头侧壁冒油了，上次把探头侧壁的油檫掉了，估计是这原因导致能谱探测分辨性能下降了

能谱分辨率的验收标准是优于133ev ，新能谱分辨率大多在129ev ，这个数字越小越好。你怀疑分辨率下降了，只有拿分辨率的数据说话。我和alexzhtang 都希望你做一下校正程序，再看结果如何。Co标样也没有吗？再有，分辨率对时间常数（处理时间）是敏感的，我不知道你说的分辨率下降了，是否和这个设置有关系。

我上次记错了，我们的Mn分辨率原来是132，现在是136了，确实如你们所说的越小越好，我们只有纯铜，再请问下你校正程序是在标准样品作成的那个工具里校正吗？我们仪器是去年买的，我之前都没作过校正，呵呵，很感谢你的帮助！
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fengyonghe
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2009/8/29 21:44:56 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我上次记错了，我们的Mn分辨率原来是132，现在是136了，确实如你们所说的越小越好，我们只有纯铜，再请问下你校正程序是在标准样品作成的那个工具里校正吗？我们仪器是去年买的，我之前都没作过校正。。。。。。
分辨率136，确实变差了。只有校正才能将其恢复。这需要Co、Ni、或Cu作标样。不知道你的是哪家的能谱。我只知道牛津能谱的。或者你联系厂家。
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haishangpiao09
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2009/9/1 10:56:25 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe 发表:
我上次记错了，我们的Mn分辨率原来是132，现在是136了，确实如你们所说的越小越好，我们只有纯铜，再请问下你校正程序是在标准样品作成的那个工具里校正吗？我们仪器是去年买的，我之前都没作过校正。。。。。。
分辨率136，确实变差了。只有校正才能将其恢复。这需要Co、Ni、或Cu作标样。不知道你的是哪家的能谱。我只知道牛津能谱的。或者你联系厂家。

我们的能谱是日本电子的
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