主题:【第三届原创大赛】SEM神秘之眼

浏览 |回复53 电梯直达
ca0yan9
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牛逼的楼主,牛逼的技术,牛逼的分析。。。。
学习了!!!!!
伯爵山
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我们在调电镜的时候,也遇到这样的问题,可以看到in-lens探测器的结构像,有时候甚至能看到偏转器的像,极靴的像没有看的那么明显,但是有一些同心圆环出现。出现这些像的条件是,给样品台加减速电压,比电子束的电压的要高,此时主电子束基本没有打在样品上,返回探测器,这时候可以看到主光路的结构。
至于长时间大电流轰击样品 然后调低电压,看像。这个倒是没有试过。
小M
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原文由伯爵山(Ins_91e7d720)发表:我们在调电镜的时候,也遇到这样的问题,可以看到in-lens探测器的结构像,有时候甚至能看到偏转器的像,极靴的像没有看的那么明显,但是有一些同心圆环出现。出现这些像的条件是,给样品台加减速电压,比电子束的电压的要高,此时主电子束基本没有打在样品上,返回探测器,这时候可以看到主光路的结构。
至于长时间大电流轰击样品 然后调低电压,看像。这个倒是没有试过。
基本上就是这样的。最后这种操作能出现主题所说现象的前提是,样品导电不良,高电压下积累足够的电荷(大于入射电子束能量)。