一、接触模式：Contact mode

1. 开启设备

1.1 依次打开电脑、变压器电源、SPM 控制器电源。

1.2 双击SPM 快捷方式，出现SPM manager 窗口，单击setting 的data path，预设数据的存储目录，待SPM 控制器电源显示栏底部显示ready 后点击online。

2．固定样品，安装到检测台

2.1 检查AFM 头部，确保探针与样品台之间有足够的空间放样，如果距离不够，点击工具栏中release 按钮，直至距离足够时，点击stop。

2.2 用双面胶将样品固定于铁片中心上，随后将其置于样品台的中心位置。样品的最大尺寸不超过24mm（直径），8mm（高度）。

3. 选择扫描模式

在setting 下拉菜单中选择mode and scanner，选中扫描模式（contact mode）和扫描器的大小，点击ok。

4. 光路调节

4.1 打开setting 下拉菜单中scanner condition，将其operating 值设为0。

4.2 打开setting 下拉菜单中panel display，选中vertical deflection，调节激光控制旋钮（样品台右边的前后旋钮），使激光打在悬臂尖端，至少保证信号显示面板上一半的LED 指示灯发亮。

4.3 若显示面板上的数值在-5-5 之间，直接调节检测器控制旋钮（垂直方向，即样品台左边的后面旋钮）至显示面板上的数值为0；若显示面板上数值的绝对值大于5，需先调节反光镜使其在-5-5 之间（保持信号显示面板上至少一半的LED 指示灯发亮），再用同样方法将数值调零。

4.4 选中panel display 中的horizontal deflection，调节检测器控制旋钮（水平方向，即样品台左边的前面旋钮）至显示面板上的数值为0。

5. 设置参数

选中 panel display 中的vertical deflection，将scanner condition 中的operating 改为1.5，
则数字信号面板上显示的数字应是scanning condition 窗口中 operating point 数值的负数，即-1.5；若不是，调节检测器垂直方向上的控制旋钮（样品台左边的后面旋）。

6．检测扫描

6.1 点击level 的下拉菜单fast approach，自动结束后，检查信号面板数值，如果偏离-1.5 较大，调节检测器垂直方向控制旋钮。

6.2 点击slow approach，在下降8～9 步后自动停止并开始扫描；如超过10 步以上还没有停下，则需上升悬臂，点击release，至一定高度后点击stop，重装探针、重调光路后再驱近。

6.3 打开示波器oscilloscope，根据扫描情况改变控制面板上的参数，直到得到清晰的图像。

7．保存图像

点击工具栏file→save this / save next，填写样品说明信息，点击ok。

8．图像处理

点中manager 图标里的offline，点击file 的下拉菜单browser，选中图像，对其进行扣背

景、除噪音的处理，将处理好的图像拷贝到画图文件或ppt、word 文件中。

二、动态模式：Dynamic mode

1、2 操作步骤与接触模式相同

3. 选择扫描模式

在setting 下拉菜单中点击mode and scanner，选中dynamic mode，点击ok。

4．光路调整

与接触模式相同的方法调节激光光路，使光斑照射悬臂尖端，使数字信号面板有2~4 个灯亮。选中panel display 中vertical RMS。

5．调节谐振频率

点击 setting 下拉菜单level tune，点击 auto tune，自动调节探针悬臂的振动频率，待出现标准的峰形后，点击ok；若无标准峰形出现，需重新安装探针、重调光路。

6．检测扫描

方法与接触模式相同，确认LED 数字显示为-0.01～-0.06（一般为-0.03），如操作点偏离，通过改变scan condition 面板的operating point 数值来调节LED 上的数字。

7．保存图像和图像处理

操作方法与接触模式相同。

使用注意事项

1. 控制器运行过程中，电脑主机不可关闭。

2. 调节激光光路或更换样品时不要直视激光光源，否则可能损坏眼睛。

3. 调节扫描参数时，proportional 的数值应从小缓慢往上调，一般至6-15 左右，不可调太高，否则影响扫描器的寿命和图像的质量。