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透射电镜（TEM）
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主题：【求助】请问TEM的断面分析可以得到金属表面的氧化层厚度吗？

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allenren
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发表于：2011/03/17 11:30:05 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
大家好！我想分析金属表面的native oxide，不知用TEM可否清晰地看到氧化层的边界？如果不能，用eels可否做到成分和厚度的分析？eels的深度和空间分辨率多少啊？谢谢！
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2011/3/20 11:39:01 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 allenren(allenren) 发表:
大家好！我想分析金属表面的native oxide，不知用TEM可否清晰地看到氧化层的边界？如果不能，用eels可否做到成分和厚度的分析？eels的深度和空间分辨率多少啊？谢谢！

这个没有问题的,我们经常做Sn球的自然氧化层,不过TEM模式可能不太清楚,STEM很清楚的,实在不行可以来个线扫.qq1293380247
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2011/3/20 12:59:36 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果氧化层比较厚的话（几个nm）用EFTEM就可以做出来， 如果氧化层比较薄（几个原子层）那么就需要STEM-SI线扫分析了， 前提是STEM分辨率足够好
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2011/3/20 13:05:25 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
EELS是透射电子，所以只要你的电子束可以透过去，样品多厚 你得到的信息就是多厚的， 如果说空间分辨率的话用EFTEM由于Cc的影响大概在1纳米左右， 如果是用的STEM-SI做高损的话分辨率就取决于STEMprobe的大小， 现在有用probe corrector的做到了化学成分原子级分辨率
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2011/3/21 9:55:36 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你的氧化层有多厚啊？
原文由 minta(minta) 发表:
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大家好！我想分析金属表面的native oxide，不知用TEM可否清晰地看到氧化层的边界？如果不能，用eels可否做到成分和厚度的分析？eels的深度和空间分辨率多少啊？谢谢！

这个没有问题的,我们经常做Sn球的自然氧化层,不过TEM模式可能不太清楚,STEM很清楚的,实在不行可以来个线扫.qq1293380247
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2011/3/21 9:58:19 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
弱弱的问下：STEM-SI是什么模式？没做过

原文由 chinazjhzzl(chinazjhzzl) 发表:
如果氧化层比较厚的话（几个nm）用EFTEM就可以做出来， 如果氧化层比较薄（几个原子层）那么就需要STEM-SI线扫分析了， 前提是STEM分辨率足够好
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