主题:分子泵的真实面目

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saintchen
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amdk7
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这的确是分子泵的结构图,上层是分子泵的叶片,叶片之间的间距很小,下层应该是高速电机,其全称应该是涡轮分子泵,其原理和飞机的发动机类似,主要是靠叶片的高速旋转,将空气分之甩出,从而达到抽真空的目的
physicsxin
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ilovexcel
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分子泵由转子rotator和定子stator组成,一个转子和一个定子组成一级stage,通常一个分子泵有13级,每个定子和转子上都有很多的叶片vane, 20到60片,每一级的叶片的倾斜的角度有所不同。
ilovexcel
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分子泵之所以叫分子泵是由原因的,它利用了物理学的碰撞原理。
1,分子撞击在第一级的转子的叶片上,由于叶片有一定的倾斜角,这样大部分撞击在转子叶片上的分子就往第一级的定子走。同时由于转子高速转动,1万到5万转/分钟,这样就使分子以更高的速度向第一级定子飞去。
2,定子上的叶片也有一定的倾斜角,这样就使分子往下一个转子跑。即使有分子往上一级转子跑,也会被上一级转子上的叶片弹回来。
3,如此反复,分子就被赶出去了。

综上所述,分子泵得工作在低真空1E-2 torr(所以不可在大气压下就开分子泵),有很高的转速,1万到5万转/分钟(所以在开腔时,一定要在分子泵完全停止时才可以往真空腔里充气)。分子本的转速,级数的多少,转子的直径和厚度决定了分子泵抽气的速度。

由于靠撞击来工作,所以对同一分子泵来说,要使其有相同的抽速,就得使用不同的转速。
ilovexcel
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原文由 ilovexcel 发表:
分子泵由转子rotator和定子stator组成,一个转子和一个定子组成一级stage,通常一个分子泵有13级,每个定子和转子上都有很多的叶片vane, 20到60片,每一级的叶片的倾斜的角度有所不同。


忘了传图片了
cdwjzk
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我们是专业生产分子泵的厂家  楼上的那位介绍的很详细了  我不再多说了  不过有什么问题  欢迎大家提出来  成都无极真空科技有限公司
弯弯的忧伤
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mapleleaves
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