主题:【原创】电镜观察时如何设置工作距离working distance

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sept
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工作距离指物镜极靴下表面与试样表面之间的距离(在电镜电脑屏幕上通常以WD+数字显示)。

需要注意的是1.真实的WD是需要将电子束聚焦到样品表面之后,显示的WD才准确。(直白翻译:Focus调清楚之后,显示的WD才是真实的)但工作距离与电子束是否聚焦无关,即调不调清楚WD该是多少还是多少。

2.即使电镜的BSE探头在极靴下面,其工作距离仍然是极靴下表面到试样表面。而通常BSE探头厚度2mm左右,因此实际的工作距离是电镜显示的WD-2mm左右。(电镜操作中,如果BSE探头在极靴下,请注意调整Z高度时为其留位,否则会撞坏BSE探头)

做图像观察时,工作距离越小图像分辨率越高。目前越来越多的电镜支持用极小的工作距离来观察nm级的样品。而对断口分析时,为了避免表面不平而导致高的尖端撞击极靴,往往采用大工作距离。

做EDS能谱时,通常具有最佳的工作距离。使尽可能多的x-ray沿探测器轴向进入探测器,从而获得最高计数率。低于或高于此最佳工作距离都会降低x-ray的计数甚至检测不到信号。

而如何了解自己的能谱仪的最佳工作距离呢?

1,自然是工程师安装之后会建议您在xx工作距离下做能谱。该距离通常就是本设备的最佳值。

2如果是INCA系统,我们还可以在软件上发现该最佳距离。路径:INCA-选项-电镜控制。点开电镜控制可以在最下面一行看到:建议的工作距离(毫米)后面的数字是多少,那就请在此距离下做能谱,就可以使能谱在最佳效率下工作。

另外,还需要补充的是,因为多数电镜的样品室较大,允许同时放入多个样品检测。如果也同时需要做能谱分析时,我们建议:

1将高度不同的样品垫高至几乎同高,这样做低样品时,调整到需要的工作距离后,也不需要担心高样品会撞到极靴。

2能谱探头毕竟装在电镜一侧,做低样品时,将其水平旋转,避免高样品阻挡其信号。





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2012/7/27 18:09:58 Last edit by lylsg555 举报
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watertime
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图文并茂,很详细。要是能介绍如何“用极小的工作距离来观察nm级的样品”就更好了。
dooby
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一批次进多个样品,如果要打能谱,高度差别就不能太大,否则调不到合适打能谱的工作距离去
kmyxyyy
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补充一点,因为前几天刚遇到一个事情,要做断口的能谱,开始一直没有信号,后来才发现原来采集的点是对着能谱探头的另一个面。也就是说能谱探头装在电镜左面时,要做断口样品,则需要注意采集点要对着能谱的一面,如果是背面的话,会被断口的高点阻挡了信号。
此时可以换一面采集,或者将样品旋转180度,使采集点面朝探头。
小M
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原文由 sept(sept) 发表:
补充一点,因为前几天刚遇到一个事情,要做断口的能谱,开始一直没有信号,后来才发现原来采集的点是对着能谱探头的另一个面。也就是说能谱探头装在电镜左面时,要做断口样品,则需要注意采集点要对着能谱的一面,如果是背面的话,会被断口的高点阻挡了信号。
此时可以换一面采集,或者将样品旋转180度,使采集点面朝探头。
如果不是因为采集点比周围深,信号出不来的话,就可以考虑是不是背朝能谱探头
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sept
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原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
原文由 sept(sept) 发表:
补充一点,因为前几天刚遇到一个事情,要做断口的能谱,开始一直没有信号,后来才发现原来采集的点是对着能谱探头的另一个面。也就是说能谱探头装在电镜左面时,要做断口样品,则需要注意采集点要对着能谱的一面,如果是背面的话,会被断口的高点阻挡了信号。
此时可以换一面采集,或者将样品旋转180度,使采集点面朝探头。
如果不是因为采集点比周围深,信号出不来的话,就可以考虑是不是背朝能谱探头


正解
kld527
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