主题:【求助】SEM束斑越来越大才能拍清楚照片

浏览0 回复11 电梯直达
zml88cat
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SEM是JEOL的JSM-6510,今年三月份安装的,刚开始束斑(spot  size)是30就挺清楚了,可是后来慢慢的不清楚了,把束斑调大就清楚了,现在束斑都调到60了才能拍清楚照片,这是为什么呢?请教大家!
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小M
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bairuizheng
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韩国COXEM
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您说的是信噪比!!
说明你的电子枪亮度在降低,需要找电子枪亮度原因!
韩国COXEM
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电子枪的发射束流大小,是否变化?
看电子枪对中是否最佳。
看象散是否增大了。
总之这款SEM使用油扩散泵,需要精心维护!!
驰奔
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fengyonghe
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原文由 zml88cat(zml88cat) 发表:
SEM是JEOL的JSM-6510,今年三月份安装的,刚开始束斑(spot  size)是30就挺清楚了,可是后来慢慢的不清楚了,把束斑调大就清楚了,现在束斑都调到60了才能拍清楚照片,这是为什么呢?请教大家!

这款电镜是钨灯丝的,如果你还没有换过灯丝那就先换灯丝再进行调整。一定要同时更换栅极帽。如果换过灯丝还调整不好那就怀疑镜筒污染了需要清洗。
zml88cat
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原文由 韩国COXEM(SH102573) 发表:
电子枪的发射束流大小,是否变化?
看电子枪对中是否最佳。
看象散是否增大了。
总之这款SEM使用油扩散泵,需要精心维护!!


能否说清楚一些,专业性强的,我都不太懂,需要怎么维护呢?
hjzhl
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maxin2009
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1.换上ZnO标样,自己样品未知因素太多,二次电子产率,导电性,样品牢固程度都很难把握,就观察氧化锌标样。

氧化锌标样在30KV SS30的条件下,看看是不是清晰,可以和从前的对比一下

2.观察SEI和BEI图像,看看这两种图像是不是都有这种现象,如果都有,就要考虑光路的问题,如果只有一种图像有这种现象,就要考虑探头的问题。

3.上个图吧,让大家帮你分析一下

4.您是长江以北的地区的?
asahi42
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原文由 驰奔(srd2009) 发表:
楼上兄弟跟着我,进步很快啊!!跟我抢答啊!!


哇靠~猛一看差点以为那位韩国酷塞目是驰奔大哥的马甲。。。
看来驰奔大哥在培养专业人才方面很有一套,佩服~
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