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主题：请教：同一种晶态的单质在ＳＥＭ图片上颜色有什么区别？

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hx2004shl
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发表于：2006/06/15 09:58:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我前一阵作了一用磁控溅射的Ｓｉ／Ａｌ／Ｓｉ的三层膜，应该都是非晶态的，从其切面图上看不出有什么明显的区别，所以想问一下采用什么方法可以将其中Ｓｉ，Ａｌ元素分辩出来。
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2006/6/19 18:23:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果要在扫描电镜上分析，将样片断面抛光后用能谱面扫描或者线扫描试试看，如果膜层厚度较大（微米级）应该不困难。薄膜就只能考虑用场发射电镜。
另一个办法是将抛光好的断面做侵蚀（化学法）或者刻蚀（比如用FIB）,然后用二次电子观察。
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