主题:【讨论】芯片电极厚度测量

浏览 |回复19 电梯直达
gegeyc88
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把样品能看到各层截面的面朝上放置就可以了。


有点难度哦,样品好小,不过会试试的!
几层加起来一共多厚?


这个SEM测量又没有什么标准?我在网上看了下,好像测量这块有个什么国标。
小M
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把样品能看到各层截面的面朝上放置就可以了。


有点难度哦,样品好小,不过会试试的!
几层加起来一共多厚?


这个SEM测量又没有什么标准?我在网上看了下,好像测量这块有个什么国标。
如果我没有记错的话,关于SEM的只有两个国标,一个是测量标准的,另一个是关于能谱的
小M
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把样品能看到各层截面的面朝上放置就可以了。


用光学显微镜试过,效果不是很好!
光镜的景深没有SEM好
小M
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把样品能看到各层截面的面朝上放置就可以了。


有点难度哦,样品好小,不过会试试的!
几层加起来一共多厚?


大概150-200微米左右
普通的确实切不了,只能考虑更加精细的,如FIB
sept
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如果你了解每层镀层的元素及或含量,那可以使用牛津的LayerProbe软件,不需要破坏样品。放置于sem中就像打能谱一样,点击任一点,即可获得该处的镀层厚度。
该原理主要是,电子束打到样品上,激发的x射线通常深入样品约几个um(与kV及Z有关)。如此,若多层膜总厚度约几个um,则每层的元素及厚度信息皆可被能谱检测到。这样无需破坏样品,即可得到多层膜的厚度信息。
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2013/3/19 11:37:34 Last edit by sept
boxer
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sight
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shine806
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gegeyc88
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楼主问题解决了没有


解决了,司特尔帮做的样,效果还不错!!!