主题:【讨论】FIB 和 SEM+离子束抛光设备

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aloumina
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FIB用于截面观察的优势是能够对特定微区进行分析,但是缺点是观察区域较小,最大不超过10μm。

用离子束抛光+SEM进行观察是不是在很大程度上可以替代FIB的功能呢。
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asahi42
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话是这么说没错,但是FIB在切割位点的精度上是ion milling+SEM所不能达到的。所以选择哪一种加工方法,完全取决于实验人员和样品要求什么样的加工精度。
aloumina
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FIB的优势在于定位分析,但是通常在切开之前是不知道缺陷在哪的吧,那要怎么办 一层一层的切? 我没用过FIB,还请赐教
gao007007
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FIB加工的精确性更好,但加工面积小,需要专业人员在场操作,仪器价格贵。
氩离子抛光加SEM,更适合对加工区域在至少一个方向上没有确定位置的样品,如加工均匀的多层膜观察截面,加工面积大,操作简单,加工过程不需要人守在旁边,价格是FIB的几分之一。
reinash
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盛美半导体设备(上海)有限公司
新进一台FEI Helios 660 Nanolab
可以承接各类FIB,微结构加工,TEM制样,电路修补,EDX,EBSD,STEM与SEM服务。
联系人,贾兆伟,13774251566,zhaowei.jia@acmrcsh.com。
SevenYUI
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金鉴检测, 同时有fib和氩离子抛光, 需要效果图或委外测试可以联系我 181 3872 9186
p3156028
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FIB 和氩离子抛光各有千秋,我有写过好多关于氩离子抛光和FIB制样的研究,严格来说,真的是各有各好,两者还可以搭配使用的。