原文由 沧海青城(lgt228) 发表:原文由 tutm(tutm) 发表:椭圆偏振仪是个什么东东啊,没听说过呢原文由 沧海青城(lgt228) 发表:原文由 tutm(tutm) 发表:确实还有电涡流和超声波的,但不知道还有没有其它的呢
测厚仪还有电磁涡流原理的和超声波反射原理的
电磁涡流原理的可以用于大多数非磁性导体
超声波的,更可用于绝缘物
测常规涂层的好像主要就这几种。
另外比较特殊的有椭圆偏振仪等测纳米级膜的。
其它的则是测整体厚度的了,如X光测厚仪、光干涉薄膜测厚仪等。
原文由 tutm(tutm) 发表:激光原理啊,那精确度应该不差原文由 沧海青城(lgt228) 发表:原文由 tutm(tutm) 发表:椭圆偏振仪是个什么东东啊,没听说过呢原文由 沧海青城(lgt228) 发表:原文由 tutm(tutm) 发表:确实还有电涡流和超声波的,但不知道还有没有其它的呢
测厚仪还有电磁涡流原理的和超声波反射原理的
电磁涡流原理的可以用于大多数非磁性导体
超声波的,更可用于绝缘物
测常规涂层的好像主要就这几种。
另外比较特殊的有椭圆偏振仪等测纳米级膜的。
其它的则是测整体厚度的了,如X光测厚仪、光干涉薄膜测厚仪等。
这个东西的原理早就有了,只是近十几年随着纳米技术发展而热乎起来,它是用光学椭圆偏振光原理设计的一种测试膜厚的仪器,可以精确表征薄膜厚度和界面光学特性。测量薄膜的厚度从数nm 到数um。 现在好像太阳能硅电池表面增敏涂层、生物活性膜技术方面用的较多。现在国产的也有了
http://www.instrument.com.cn/netshow/C48244.htm