主题:【第六届原创】ITO透明电极探秘

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gegeyc88
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  ITO 是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡,ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜,在半导体照明行业这种透明电极应用非常广泛,在照明行业,电极既要具有很好的导电性也要具有好的透明性,才能同时满足光学和电学性能的要求。

  下图被切割而成的小方块就是LED die,每个die上的发光面均用蒸镀的方法生长了ITO透明薄膜,用肉眼看上去呈现透明。



下面选取了透明电极表面生长过程中的一些类似缺陷的区域,近距离的观察此类半导体材料:














  由于仪器放在厂房内,振动影响明显,最后一张图中就可以清楚的看到。

  对比肉眼和SEM的图片,可以看到微观世界中的ITO膜层是原子的有序排列而成。
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luminescence
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本人对楼主最后一句话中“ITO膜层是原子的有序排列”持保留意见。
gegeyc88
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原文由 luminescence(luminescence) 发表:

本人对楼主最后一句话中“ITO膜层是原子的有序排列”持保留意见。


有道理,是我表述错误!只是假想跟这类似,然后就。。。
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2013/6/28 12:33:47 Last edit by v2675311
kfcontrol
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ito膜一般都是溅镀上去的吧。。。我们ito上面的膜层都是采用蒸镀的。。。还有请教楼主,profile width这个标尺是什么意思啊。。。是反应深度的吗?还是什么?
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原文由 kfcontrol(kfcontrol) 发表:

ito膜一般都是溅镀上去的吧。。。我们ito上面的膜层都是采用蒸镀的。。。还有请教楼主,profile width这个标尺是什么意思啊。。。是反应深度的吗?还是什么?


我们这边半导体照明的是用蒸镀,上面那个profile width是我拉的那条线的宽度,这个主要是看那个‘’白色‘’的形貌,这个是定性的,不能定量的表达。
hxm0515
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gegeyc88
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原文由 hxm0515(hxm0515) 发表:

怎么和我看到的有很大差异


传几张上来看看。。。
小M
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原文由 gegeyc88(v2675311) 发表:
原文由 kfcontrol(kfcontrol) 发表:

ito膜一般都是溅镀上去的吧。。。我们ito上面的膜层都是采用蒸镀的。。。还有请教楼主,profile width这个标尺是什么意思啊。。。是反应深度的吗?还是什么?


我们这边半导体照明的是用蒸镀,上面那个profile width是我拉的那条线的宽度,这个主要是看那个‘’白色‘’的形貌,这个是定性的,不能定量的表达。
profile曲线的纵坐标表示白色物质的纵向高度吗?
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2013/7/1 20:28:37 Last edit by mitchell_dyzy
小M
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SEM看不到原子层面,所以只能说是微观有序排列结构吧
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2013/7/1 20:28:03 Last edit by mitchell_dyzy
驰奔
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现在的液晶显示器里都有这个器件,也就是大家天天触摸的屏里都有这个器件吧
gegeyc88
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原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
原文由 gegeyc88(v2675311) 发表:
原文由 kfcontrol(kfcontrol) 发表:

ito膜一般都是溅镀上去的吧。。。我们ito上面的膜层都是采用蒸镀的。。。还有请教楼主,profile width这个标尺是什么意思啊。。。是反应深度的吗?还是什么?


我们这边半导体照明的是用蒸镀,上面那个profile width是我拉的那条线的宽度,这个主要是看那个‘’白色‘’的形貌,这个是定性的,不能定量的表达。
profile曲线的纵坐标表示白色物质的纵向高度吗?


不能表达具体的数值,只能是知道这里是凸起来的。