主题:钢基体上溅射的2um多层合金膜怎么做断面样品?

浏览 |回复3 电梯直达
moralist
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多层的合金膜经过热处理,不同的厚度会有不同的相生成,想看一下截面。

问题是我在一块大的低碳钢基片上溅射膜的尺度仅为4mm*4mm*2um,要做这么小位置的SEM断面样品怎么做啊?以前在Si基片上很容易,现在钢基片那么硬,而膜又比较薄,真想不出什么好办法。

各位帮忙想想办法吧。

谢谢!
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szvc
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moralist
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sunnysky
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可以用树脂包埋,再研磨,应该会有不错的效果