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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【求助】扫描电镜在集成电路及半导体方面的应用？

浏览0 回复4 电梯直达
阿飞
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发表于：2006/09/17 11:20:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
大家交流一下扫描电镜在集成电路和半导体分析方面应用经验好吗，电镜选型时要注意些什么？需要用一般的钨灯丝电镜还是要用到场发射电镜（冷场好还是热场好），需要用什么检测器？谢谢回复！
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2006/9/23 2:34:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 yjh020 发表:
大家交流一下扫描电镜在集成电路和半导体分析方面应用经验好吗，电镜选型时要注意些什么？需要用一般的钨灯丝电镜还是要用到场发射电镜（冷场好还是热场好），需要用什么检测器？谢谢回复！


后道用W就好,前道要看工艺,一般都用FEG的,相对于半导体工艺来说,偶觉得还是热场好一点,一般加上EDX就OK了,少数会用CL和EBIC,现在还有人在CHAMBER里加PROBE测I-V CURVE
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六脉神剑
quanbaogang
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2006/9/23 7:11:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
工厂里是不是不常用SEM啊，我知道FIB（focus ion beam）是常用的。
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renxin
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2006/10/7 16:15:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 quanbaogang 发表:
工厂里是不是不常用SEM啊，我知道FIB（focus ion beam）是常用的。

FIB是离子筒，是附加在使用电子筒的电镜上的，直接利用离子束的离子镜现在全球只有一家能做。
还有FIB是 FOCUSED ION BEAM，不是FOCUS ION BEAM。
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miumiu
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2006/10/9 14:21:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不是吧，我就知道两家做
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