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主题：【讨论】分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵是作为分子泵的前级抽真空吗?扩散泵的极限压强是多少?分子泵的极限压强是多少?分子泵在多少压强下开始工作?

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依风1986
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发表于：2015/04/22 22:21:06 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵是作为分子泵的前级抽真空吗?扩散泵的极限压强是多少?分子泵的极限压强是多少?分子泵在多少压强下开始工作?
该帖子作者被版主 symmacros加 2积分， 2经验，加分理由：发帖。
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2015/4/22 22:42:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分子泵与扩散泵都是后级泵，只有机械泵是前级泵。分子泵的效率比扩散泵高。
该帖子作者被版主 tang566加 2积分， 2经验，加分理由：解答
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依风1986
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2015/4/23 19:42:09 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
分子泵与扩散泵都是后级泵，只有机械泵是前级泵。分子泵的效率比扩散泵高。
具体这两种泵有何区别？后级泵具体意思？
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千层峰
jxyan
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2015/4/24 9:36:25 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
现在很少用扩散泵了
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依风1986
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2015/4/24 22:47:14 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 千层峰(jxyan) 发表:
现在很少用扩散泵了
为什么啊？不过GCMS一般都是机械泵 与分子泵
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tang566
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2015/4/25 7:42:51 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
分子泵与扩散泵都是后级泵，只有机械泵是前级泵。分子泵的效率比扩散泵高。
分子泵与扩散泵是同样的作用，只是抽气原理不同？
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tang566
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2015/4/25 7:43:40 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 依风1986(xurunjiao5339) 发表:
为什么啊？不过GCMS一般都是机械泵 与分子泵
扩散泵有返油风险
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symmacros
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2015/4/25 8:14:30 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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symmacros
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2015/4/25 8:24:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
前级泵-机械泵（旋转泵，极限真空10-2 - 10-4torr)

高真空-油扩散泵、分子涡轮泵（极限真空10-5  - 10-10torr)
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ruan651209
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2015/4/25 9:49:49 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分子泵开始工作时，前级真空约为数百到千把毫乇，T家。

分子泵的极限压力是：超短时间直通大气（就是泵叶片变形严重，但还没有断裂或碰撞到相邻定片的极限）。

长时间通大气肯定毁了，过限了。
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千层峰
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2015/4/25 12:07:06 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 依风1986(xurunjiao5339) 发表:
为什么啊？不过GCMS一般都是机械泵 与分子泵
扩散泵容易返油。。。
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手机版： 分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵是作为分子泵的前级抽真空吗?扩散泵的极限压强是多少?分子泵的极限压强是多少?分子泵在多少压强下开始工作?
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