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主题：【求助】Al多晶电子衍射环是椭圆

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xiao027
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发表于：2015/11/22 08:58:34 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
Al多晶电子衍射环是椭圆，从DM读出直径分别为8.67和8.39（1/nm)，有近3%的差别，反复测量都有2~3%的差别，调整IL STIG好像不能改变环的形状（可以改变DIFF FOCUS偏离大时的中间斑的形状，使得环离散），是什么问题呢？
3%的差别正常吗？如何改善？请教大家了。
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2015/11/23 8:40:12 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
多晶是椭圆的也正常，斜交多阶埃瓦尔德球，判断是否是中间镜象散，看透射斑点是否圆就行，或者在平时注意中间镜线圈的电流值，不好判断的是否，直接调到这个值的附近即可
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xiao027
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2015/11/23 10:35:28 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
多谢多谢，如果要测准各个方向的衍射斑点，用au环校准相机常数，简单方法就用多个直径的平均值了。个人感觉不是中间镜象散，我看了IL STIG的值XY0.01始终没变，与刚安装时一致。
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2015/11/23 13:23:36 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果喷Au做内标也是可以的，单独做标定也可以
在做ppt的时候看到这两幅，供参考
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