主题:【讨论】请问5977的开机用的时间比5975长?加真空时间长?离子源四级杆加热慢?

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symmacros
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请问5977的开机用的时间比5975长?加真空时间长?离子源四级杆加热慢?
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雾非雾
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慢点就慢点,反正只要能正常启动不就行?因为启动过程并不需要人工干预,所以顺其自然就行。
千层峰
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开机应该差不多吧,,可能在抽真空方面有点不同。。5977用的是他们自己生产的分子泵,,
symmacros
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原文由 雾非雾(mcds) 发表:
慢点就慢点,反正只要能正常启动不就行?因为启动过程并不需要人工干预,所以顺其自然就行。
是有点慢。好像是什么分子泵保护,软真空启动。
symmacros
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原文由 千层峰(jxyan) 发表:
开机应该差不多吧,,可能在抽真空方面有点不同。。5977用的是他们自己生产的分子泵,,
抽真空是有点不同。
千层峰
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原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
抽真空是有点不同。


真空度可是比较重要的一个参数,,不知道现在5977抽真空的速度是多少,,
有版友反应,保内就烂了泵的。。。
symmacros
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原文由 千层峰(jxyan) 发表:
真空度可是比较重要的一个参数,,不知道现在5977抽真空的速度是多少,,
有版友反应,保内就烂了泵的。。。
现在已经改回原来的浦发泵了。
luos86
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symmacros
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原文由 luos86(v2905367)发表:大泵小泵的区别?
泵是一样的,是程序设计。
FCBYCh
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原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
是有点慢。好像是什么分子泵保护,软真空启动。
分子涡轮泵分级保护特别慢,如果需要快速开机可以在mass上面修改关闭这个功能就和5975一样的开机速度
symmacros
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原文由 FCBYCh(v2983544) 发表:
分子涡轮泵分级保护特别慢,如果需要快速开机可以在mass上面修改关闭这个功能就和5975一样的开机速度
多谢,是分级保护。

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