主题:s.e.c air lock valve无法关闭

浏览0 回复13 电梯直达
dlclq
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在做完一炉样品之后,关闭高压,将样品杆复位,退出样品杆,s.e.c处样品杆卡住,不能进出,检查发现S.C LOCK VALVE没有自动关闭,也就是GUN VALVE.本应高压关闭后它就会自动关闭。请教各位问题所在?
说明:用的是日立场发射电镜。
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常怀千岁忧
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常怀千岁忧
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不好意思,还是不太明白
样品杆本来就应该卡在交换仓的啊
如果是在正确固定位置卡住不动,请检查一下卡簧是否变形
dlclq
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是应该卡在交换仓,但是无法破真空,因为GUN VALVE没有自动关闭
dlclq
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原文由 denqinamao 发表:
是应该卡在交换仓,但是无法破真空,因为GUN VALVE没有自动关闭

没有弹簧,在入口处有一个SENSOR,但是动作到位了,主要是高压关闭后,GUN VALVE 没有自动关闭,有用过日立超级电镜么?可以上网查一下,看看是什么样的。
常怀千岁忧
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没听说日立有超级电镜,呵呵。
是48?不会是55吧?
这种情况一般都是拉出样品杆的时候动作有异,交换室轻微漏气或样品杆不到位造成sensor误判断造成的。
真空控制面板上其他按键工作正常吗?
dlclq
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不是55,是52.都差不多的,只是分辩率相差一点。你还是没有看明白,高压关闭后,GUN VALVE应该自动关闭的,但是没有自动关闭,所以取样品杆时造成卡住,我怀疑是软件的原因。
常怀千岁忧
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原文由 denqinamao 发表:
不是55,是52.都差不多的,只是分辩率相差一点。你还是没有看明白,高压关闭后,GUN VALVE应该自动关闭的,但是没有自动关闭,所以取样品杆时造成卡住,我怀疑是软件的原因。

是超级,52我还没见过呢
类似的情况在47和48上都碰到过,一次是因为Gun Valve本身的问题,一次是我上面说的原因。
个人感觉跟软件没太大关系,如果HV确实已经关掉了。
dlclq
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请你解释一下,为什么高压关闭后,GUN VALVE没有关上?
dlclq
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