主题:【新手求助】SEM喷碳时存在碳屑

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Vivian_87
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悬赏金额:20积分 状态: 未解决
样品在喷碳后都总有很多碳屑存在,请教各位大神怎么解决?
我们公司用的是日本家单位产的VC100喷碳仪。下图是我在陶瓷片上喷碳照片。。。
各位老师帮帮忙啊。。。
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驰奔仪器
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fengyonghe
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是你用的碳棒不太好,激发出碎屑                                               
沃世德
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也可能是由于真空度比较低,这是真空度比较高的碳膜。
Vivian_87
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原文由 驰奔仪器(SH103843) 发表:
用碳绳还是碳棒?
用的是普通的2B 铅笔芯,0.5mm的。自动铅笔里用的那种。
Vivian_87
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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
是你用的碳棒不太好,激发出碎屑                                               
铅笔芯是买仪器时厂家给的,,说明说上也说用自动铅笔芯,B 到4B的都行。后来的我们自己买了一种自动铅笔芯还是一样的有碳屑。。。
Vivian_87
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原文由 沃世德(v2797846) 发表:
也可能是由于真空度比较低,这是真空度比较高的碳膜。


真空度一般能抽到2到3pa之间,仪器说明是要抽到小于2pa的。。但是这个真空抽的很慢,达到2Pa以下要很久,一般稍微大于2pa也会开始喷。。这样的真空度还是不够大?
喷完碳和喷碳前我们都是用洗耳球吹电极,遮板,真空室的上下密封圈的,还想请教大师们喷完碳是怎么清理喷碳仪的呢??
还有我发现每次碳丝烧断后真空度下降的很快,难道是之前烘烤和除气的不彻底才导致真空度下降的很慢的?
不可救药之人
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fengyonghe
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铅笔肯定不行,碳棒的硬度是很高的,直径5mm,还要削成特定的形状,你们有没有买削碳棒的机器?
Vivian_87
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没有买削碳棒的机器, 因为现在用的自动铅笔芯都只有0.5mm, 那要买什么样的碳棒才好用呢?哪里有的卖?
gao007007
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1. 机器要及时清洗,以免污染物过多。喷碳仪比较容易脏
2. 买好一点的铅笔芯,如三菱的