安捷伦7800第一次开机，涡轮分子泵就不转了，需要16W

荆棘鸟

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2018/9/14 11:08:17 12楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

重点检查前级泵和各个接口看有没有漏气，分子泵才1%的转速应该是没有真正启动。

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2018/9/14 21:57:43 13楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

分子泵是很精密的仪器，长时间不用，里面进去灰尘颗粒，或者湿度太大发霉长菌都是有可能的，这也会导致分子泵损坏。但是按照你说的工程师装机时候没有出现问题，那说明分子泵应该没有出现上述嗯情况，不是泵的问题。一般都是先开机械泵，机械泵连续抽真空几个小时或者一两天，达到规定的真空状态了，才开仪器让分子泵运行，此时分子泵才能继续抽真空，你说的问题可能是机械泵的真空度没有达到要求，所以分子泵此时很难加速到100%，需要等机械泵真空度达到了，再开分子泵应该就好了。

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2018/10/15 11:30:08 14楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

后来通过领导跟安捷伦当地销售协商，销售同意免费上门维修，等了两周安捷伦工程师小伙上门，拆了分子涡轮泵换了新的就好了。。。。。换下来的分子涡轮泵中有不明液体，检查了管路也没有发现漏油或者漏液的地方。可能就是因为这些液体造成分子涡轮泵控制电路短路了。总之，还是领导给力，免费解决了这个问题。

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2018/10/15 21:50:42 15楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

抽真空中途断了吧？

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wnnzl

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2018/10/18 8:25:36 16楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

你这个是什么泵，这么贵
我们的来宝泵，买个新的只要5w而已

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仪器精英

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2018/12/14 12:06:42 17楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

确实部分是有点问题的，但是对于新手来说还是很有指导意义的！

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张慧君

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2019/9/3 16:40:18 18楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 timstoICPMS(timstoICPMS) 发表:
开了真空泵，就发现真空抽不上去
—— 你的7800应该配的是 DS402 机械泵（见左下图）。这个泵有个bug：长时间停泵，重新打开后，抽力很慢，需要逐渐恢复。
你在软件上多点几次 Vacuum On 抽真空即可。

你好，我是武汉理工大学的一名博士生，使用真空镀膜机时，只能抽到2*10^-1 torr，期间分子泵转速只有1000。然后分子泵就报错。我看您的一篇回帖说机械泵要多抽几次恢复抽力？我们中间修电源停机了1天，抽了大概5次了，仍旧没解决问题？您能否给一些建议？