主题:【悬赏帖】各位SEM大神, 看看这张神奇的SEM, 该如何解释这种现象?

浏览 |回复6 电梯直达
iangie
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这张SEM二次电子成像的样品里面看到了SEM它自己......不但主轴看得清楚, SE探测器, EDS探测器, 还有腔门都看得一清二楚.
最佳答案:小M回复于2019/01/21
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小M
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以前有过讨论
原因是样品处严重荷电,相当于一个电子发射源,将样品室里的信号都送到探头里去了
小M
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iangie
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原文由 tigerlt(tigerlt) 发表:
这个是典型的样品表面荷电像。你的机器型号应该是Nova NanoSEM230。你可以随便找个不导电样品试试,先用高电压大束斑照一段时间然后切换到低电压,马上就可以看到类似的现象,称为阴极透镜现象,在任何电镜上都可以看到。我怀疑你样品没粘好,接地不充分。你可以这样检查,10千伏到5千伏,出现上述现象,再切换到15千伏就会消失。原理大概如下:10千伏照射导致样品表面荷负电大约6千伏,切换到5千伏,入射电子会被全部发射回去,打到极靴上和样品室内壁而产生二次电子像。当你用7千伏电压可以部分克服表面电场,形成第二张图像。由于有的样品导电性差,表面荷电可以驻留很久。
这个解释言简意赅
fengyonghe
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原文由 iangie(iangie) 发表:
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这个是典型的样品表面荷电像。你的机器型号应该是Nova NanoSEM230。你可以随便找个不导电样品试试,先用高电压大束斑照一段时间然后切换到低电压,马上就可以看到类似的现象,称为阴极透镜现象,在任何电镜上都可以看到。我怀疑你样品没粘好,接地不充分。你可以这样检查,10千伏到5千伏,出现上述现象,再切换到15千伏就会消失。原理大概如下:10千伏照射导致样品表面荷负电大约6千伏,切换到5千伏,入射电子会被全部发射回去,打到极靴上和样品室内壁而产生二次电子像。当你用7千伏电压可以部分克服表面电场,形成第二张图像。由于有的样品导电性差,表面荷电可以驻留很久。
这个解释言简意赅
非常精准的答案