主题:【求助】使用FPD检测器时,氢气流量达不到设定值是什么原因呢?

浏览0 回复43 电梯直达
拉菲
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原文由dadgoh(dadgoh)发表:
原文由大尾巴喵(v3205759)发表:
原文由 dadgoh(dadgoh) 发表:
压力能到多大?
0.37
0.4附近差不多,应该膜没漏。
ok
yy_0324
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原文由m33(m3305859)发表:感觉可以先把氢气发生器接到别的气相色谱或者使用流量计确认一下是否产量足够,如果氢气发生器没问题,在看一下是不是一拖二,有的时候一拖二的话同时开两台就会有这种情况,都没有的话,在排除漏气可能,如果都没问题那可能是epc有问题了吧
从其中学习了花使用FPD检测器时,氢气流量达不到设定值的原因。
dadgoh
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