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主题：【求助】FESEM成像不清晰，请问是什么原因

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猫的薛定谔
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发表于：2019/05/31 10:56:47 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问是由哪些原因导致的？
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2019/5/31 11:58:27 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
首先看你的样品材质是什么。导电性强的会好很多。
电镜操作条件也会影响：比如工作距离和电压，另外电子枪对中和像散也是很主要原因，这些都是需要经验和练习积累的。
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RBLEGEND
v3031903
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2019/5/31 12:09:16 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
灯丝寿命是不是到了？看下拔出电流

光栅选的太大了也会导致成像不清晰

加速电压  工作距离  探头BSD SE2

现拍下样品台看看能不能搞定
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小M
mitchell_dyzy
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2019/5/31 13:05:03 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能原因比较多，楼上基本提到了。具体还得看你是什么情况。上一张图片可能就知道了。
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猫的薛定谔
Ins_8b928ff1
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2019/6/4 14:04:10 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢各位专家！
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canne_yswei
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2019/7/22 9:36:24 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
问题有点宽泛啊。
最好把工作参数发一份，才能针对性的解决问题
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手机版： FESEM成像不清晰，请问是什么原因
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