主题:【已应助】icpms点火不能持续

浏览 |回复11 电梯直达
龍龙
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我们使用的是PE的icpms Nexion350Q,上周发现点火成功后,没过2秒,熄灭了。冲了新的液氩后依旧不行。状态显示:plasma could not be sustained
最佳答案:闹太套回复于2019/11/18
排查优先级:
1、液氩输出管路是否漏气,输出压力是否0.8MPa左右。
2、炬管是否干燥,安装位置是否正确(我因为碰到线圈烧掉过一个)。
3、仪器上方舱门是否压严实。
4、仪器放置台的总体功率是否够仪器全额运行。(比如会不会是因为又接了一台仪器导致功率不够)
5、仪器使用时间较久,射频发生器功率不够了,350的RFG应该是1600W吧,你在condition里面加个50-100W试试看。
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snooker
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原因有很多:氩气有问题,中心管炬管没装好,氧气没关,仪器年龄大了功率管不好了……
hujiangtao
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龍龙
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原文由 hujiangtao(hujiangtao) 发表:
仪器使用多长时间了
仪器有差不多三年了,早就过保了
砂锅粥
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3年还好,使用维护得当3年还是很新的。
先检查进样系统吧,看看有无漏气,矩管脏不脏,安装位置是否正确,废液管是否排液顺畅等等。先检查容易的,实在不行再考虑让厂家上门。
闹太套
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1、液氩输出管路是否漏气,输出压力是否0.8MPa左右。
2、炬管是否干燥,安装位置是否正确(我因为碰到线圈烧掉过一个)。
3、仪器上方舱门是否压严实。
4、仪器放置台的总体功率是否够仪器全额运行。(比如会不会是因为又接了一台仪器导致功率不够)
5、仪器使用时间较久,射频发生器功率不够了,350的RFG应该是1600W吧,你在condition里面加个50-100W试试看。
龍龙
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原文由 闹太套(m3235491) 发表:
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1、液氩输出管路是否漏气,输出压力是否0.8MPa左右。
2、炬管是否干燥,安装位置是否正确(我因为碰到线圈烧掉过一个)。
3、仪器上方舱门是否压严实。
4、仪器放置台的总体功率是否够仪器全额运行。(比如会不会是因为又接了一台仪器导致功率不够)
5、仪器使用时间较久,射频发生器功率不够了,350的RFG应该是1600W吧,你在condition里面加个50-100W试试看。
我会的都一一检查过了,询问工程师还是认为是气体问题可能性最大
gangzi3617
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