主题:【已应助】ICP一MS熄火

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Insm_7c51080c
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PE公司的DRC一E,工作十几分钟就熄火,且没有任何提示,请各位大神指导一下!
最佳答案:tuxlin回复于2020/04/22
检查一下炬管箱温度是否过高、真空是否过低、冷却水温度是否过高,还可进入ServiceMode看一下等离子功率是否正常。
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sdlzkw007
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调谐能不能通过?如果能通过,可以对比一下最近的几次调谐报告。没有线索很难解决问题。
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yayicuo
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需要一步步查找原因,这么分析,很难说到点上。
Insm_7c51080c
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调谐正常,测标准均正常,莫名其妙熄火,且不提示熄火原因。该怎么检查?
gaosong19730427
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试着查报错记录,系统给熄火原因进行分析。
tuxlin
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检查一下炬管箱温度是否过高、真空是否过低、冷却水温度是否过高,还可进入ServiceMode看一下等离子功率是否正常。
Insm_7c51080c
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谢谢各位老师!原因已找到,功率管老化,RF功率太低。