主题:【已应助】ICPMS反馈功率问题

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认得醉翁语
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安捷伦7800,今天点火成功后,反馈功率不稳定,从9上到40,射频功率1540-1560之间,上周工程师更换了透镜和四级杆,真空度目前是:if  254,四级杆真空度 9*10-5。目前不明白反馈功率问题,是否是匹配箱有问题?是否需要报修?
最佳答案:timstoicpms回复于2020/06/24
大部分 待机真空介于(1.0~1.5)e -5 Pa,少部分能达到 (7.5~9.0)e -6 Pa
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huangza
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真空度高了,点火前真空度多少?至少在-6方以下的。
timstoicpms
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点火后,在炬管图标 鼠标右键“RF匹配”。看看反射功率能降到多少W?

你这个真空数值是正常的。
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原文由 huangza(huangza) 发表:真空度高了,点火前真空度多少?至少在-6方以下的。
真空度已经核查过了,问题不大,咨询了工程师,说偏高些,但是还好。
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原文由 timstoicpms(timstoicpms) 发表:点火后,在炬管图标 鼠标右键“RF匹配”。看看反射功率能降到多少W?你这个真空数值是正常的。
嗯嗯,已经做了,并且在工程师的指导下已经完成参数调节,目前来看,反馈功率问题已经解决了。
tuxlin
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timstoicpms
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为什么 会更换四级杆质量分析器?这部件极少出问题。

要更换的话,也是更换 QP 外围的几块电路控制板
timstoicpms
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原文由 认得醉翁语(Insm_c6f1734d) 发表:
真空度已经核查过了,问题不大,咨询了工程师,说偏高些,但是还好。
大部分 待机真空介于(1.0~1.5)e -5 Pa,少部分能达到 (7.5~9.0)e -6 Pa
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2020/7/1 11:09:27 Last edit by timstoicpms
光哥
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什么具体问题要更换四极杆?这问题非常非常非常罕见
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原文由 光哥(xsh1234567) 发表:什么具体问题要更换四极杆?这问题非常非常非常罕见
是这样,我们咨询工程师是em调谐不过,提示灵敏度低,后来跟厂家工程师反馈后,正好厂家正在做透镜和四级杆升级,就给我们做了免费申请升级和更换,因为我们刚出保不就,然后我们和领导沟通后,同意了,才更换了透镜和四级杆。
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原文由 认得醉翁语(Insm_c6f1734d) 发表:
是这样,我们咨询工程师是em调谐不过,提示灵敏度低,后来跟厂家工程师反馈后,正好厂家正在做透镜和四级杆升级,就给我们做了免费申请升级和更换,因为我们刚出保不就,然后我们和领导沟通后,同意了,才更换了透镜和四级杆。


既然是新机器,EM调谐不过,那么不太可能是检测器寿命;很大概率是 检测器输出板 QP Detector 出问题。

不晓得为啥去更换 Omega透镜组 和 四极杆质量分析器。