主题:【已应助】晶圆表面气相分解后,收集液体所用的回收液,为什么要用到双氧水

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Insm_7eafc8d7
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晶圆表面气相分解后,收集液体所用的回收液,为什么要用到双氧水???,双氧水起到什么作用,为什么不用硝酸???

          请教各位大大!!!
最佳答案:光哥回复于2020/07/08
VPD里面已经有HF和HNO3了吧,H2O2的氧化性相对较强,另外有些阳离子在H2O2环境中溶解性较HF/HNO3体系更好一些
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summerlwl
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我猜是:双氧水的氧化性很强,可以使晶圆表面产生氧化硅保护层。
光哥
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VPD里面已经有HF和HNO3了吧,H2O2的氧化性相对较强,另外有些阳离子在H2O2环境中溶解性较HF/HNO3体系更好一些
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原文由 光哥(xsh1234567) 发表:
VPD里面已经有HF和HNO3了吧,H2O2的氧化性相对较强,另外有些阳离子在H2O2环境中溶解性较HF/HNO3体系更好一些
按照你所说H2O2对于阳离子比HNO3要好,ICP-MS分析的是金属都是阳离子吧,那还要HNO3干什么呢????