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主题：【讨论】光刻胶中重金属检测方法

浏览 |回复14 电梯直达
学到老活到老
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发表于：2020/08/18 22:43:42 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请教

    光刻胶中重金属检测方法（国标或者行业标准有没有）
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skytoboo
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2020/8/19 8:43:03 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电子行业高纯度用到icpms，如果没有人回复你可以问下仪器厂商，比如安捷伦
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学到老活到老
Insm_4c6e3c70
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2020/8/19 11:10:49 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 skytoboo(skytoboo) 发表:电子行业高纯度用到icpms，如果没有人回复你可以问下仪器厂商，比如安捷伦
是不是与样品重金属含量有关，原子吸收和icp达不到检出限？
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JOE HUI
xurunjiao5339
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2020/8/19 16:35:18 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 学到老活到老(Insm_4c6e3c70) 发表:
是不是与样品重金属含量有关，原子吸收和icp达不到检出限？
是啊,与标准要求限值等也是有关系，ICPMS适合PPB,PPT等基本含量要求
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skytoboo
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2020/8/19 18:29:25 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 学到老活到老(Insm_4c6e3c70) 发表:是不是与样品重金属含量有关，原子吸收和icp达不到检出限？
光克胶要求可能比较高，石墨炉应该也满足，但是它一个一个元素测太慢了，icpms半导体领域用的比较多。 icp oes检出限都是ppm级别的可能不符合你的要求
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tang566
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2020/8/20 13:23:37 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 学到老活到老(Insm_4c6e3c70) 发表:
是不是与样品重金属含量有关，原子吸收和icp达不到检出限？
测量那元素，要求的检出限是多少？
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gangzi3617
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2020/8/20 17:39:44 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
光刻胶得用ICPms
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光哥
xsh1234567
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2020/8/25 14:19:29 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
重金属？
你这是客户要求做ROHS？
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gangzi3617
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2020/8/26 9:12:30 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
什么级别的光刻胶，PCB还是芯片
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学到老活到老
Insm_4c6e3c70
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2020/8/27 9:46:17 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gangzi3617(gangzi3617) 发表:光刻胶得用ICPms
谢谢
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学到老活到老
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2020/8/27 9:46:35 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 skytoboo(skytoboo) 发表:光克胶要求可能比较高，石墨炉应该也满足，但是它一个一个元素测太慢了，icpms半导体领域用的比较多。 icp oes检出限都是ppm级别的可能不符合你的要求
谢谢
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