主题:【讨论】光刻胶中重金属检测方法

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学到老活到老
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skytoboo
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电子行业高纯度用到icpms,如果没有人回复你可以问下仪器厂商,比如安捷伦
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原文由 skytoboo(skytoboo) 发表:电子行业高纯度用到icpms,如果没有人回复你可以问下仪器厂商,比如安捷伦
是不是与样品重金属含量有关,原子吸收和icp达不到检出限?
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JOE HUI
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原文由 学到老活到老(Insm_4c6e3c70) 发表:
是不是与样品重金属含量有关,原子吸收和icp达不到检出限?
是啊,与标准要求限值等也是有关系,ICPMS适合PPB,PPT等基本含量要求
skytoboo
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原文由 学到老活到老(Insm_4c6e3c70) 发表:是不是与样品重金属含量有关,原子吸收和icp达不到检出限?
光克胶要求可能比较高,石墨炉应该也满足,但是它一个一个元素测太慢了,icpms半导体领域用的比较多。 icp oes检出限都是ppm级别的可能不符合你的要求
tang566
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原文由 学到老活到老(Insm_4c6e3c70) 发表:
是不是与样品重金属含量有关,原子吸收和icp达不到检出限?
测量那元素,要求的检出限是多少?
gangzi3617
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光哥
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gangzi3617
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原文由 gangzi3617(gangzi3617) 发表:光刻胶得用ICPms
谢谢
学到老活到老
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原文由 skytoboo(skytoboo) 发表:光克胶要求可能比较高,石墨炉应该也满足,但是它一个一个元素测太慢了,icpms半导体领域用的比较多。 icp oes检出限都是ppm级别的可能不符合你的要求
谢谢