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ID:Insm_20656a79
行业:其他
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ID:sdlzkw007
原文由 sdlzkw007(sdlzkw007) 发表:貌似气体流量不正常,需要重新启动看看吧。如果还有问题,建议你联系一下厂家工程师。
ID:liushuyong
原文由 lsyecspc(liushuyong) 发表:应该是流量没有就绪,可以更换一下分流出口的捕集肼试一下,有可能用的时间长了,吸附饱和了,分流流量达不到设定值了。
ID:lhl8595
ID:zyl3367898
原文由 lhl(lhl8595) 发表:1 楼主的仪器流量并不是电子控制,而都是手调阀的。所以流量不会检测not ready问题。2 TEMP灯黄色,代表温度有未到达设定值的项目,建议楼主逐单元检查一下实际值是否和设定值一致。看看是否有设置不合理的温度、不该配置进去的单元等。
原文由 zyl3367898(zyl3367898) 发表:进样垫是否漏气,衬管上的O型圈是否漏气。也有可能分流捕集阱要更换了。
原文由 Insm_20656a79(Insm_20656a79) 发表:谢谢,今天先去检查一下,这个FLOW灯也不亮的