主题:【已应助】安捷伦7900量测P元素含量

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Insm_fda1fab5
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半导体行业,使用安捷伦7900,带有碰撞反应池(H2和He),想要监控无尘室环境中P的含量,做法是将晶圆放环境中一段时间,然后使用萃取液(HF+H2O2)萃取晶圆表面,收集后量测,目前有使用两种方法:1.热电浆模式下,碰撞反应池通了5ml/min的He,但P31的背景很高,线性基本是平的;2.冷电浆模式下,碰撞池不启用,量测PO,线性可以拉出,但是感度很低。

请教各位大神,是否还有其他的量测方式?或者做法中有哪些点不足?还请指点一二,感谢!
最佳答案:光哥回复于2021/01/13
有SiF=47。这个元素以前我做得也不少。
要么试试提高功率到800/900w同时通He,要么换成8900s,要不然最低点50ppt,单杆很难搞。
  另外冷焰同时通氦气,你先试试,不一定是你想的没有感度了。建议专门针对47PO做一个调谐文件,手动调各个透镜参数,调的时候配个P单标,看P单标和DIW,让47PO和DIW中47达到最高信噪比。测试的时候单独调用这个调谐条件做P
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tuxlin
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热电浆、冷电浆,台企的?
7900上,也基本上就这两种方式了。你们是半导体之类的工厂吧,试剂与实验室条件应该都不错,怎么会背景很高?“线性基本是平的”---是在多高含量的线性范围。
光哥
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光哥
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另外萃取液直接稀释或者不稀释上机,基体会比较大,不太适合冷焰
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原文由 tuxlin(tuxlin) 发表:
热电浆、冷电浆,台企的?
7900上,也基本上就这两种方式了。你们是半导体之类的工厂吧,试剂与实验室条件应该都不错,怎么会背景很高?“线性基本是平的”---是在多高含量的线性范围。
是的,10级无尘室,试剂都是10ppt以下等级,拉线0.05ppb、0.1、0.5、1、2ppb,P31在热电浆下CPS值都是1000多,线性基本上是一条平的线,如果不是背景高的话,不应该各个点都在一个范围内吧,抑或P标准品易挥发吗?我是配的50ppb的标准品,防止有段时间了,使用HNO3作为基质配出来的,会不会由于有HNO3,NOH的干扰比较大导致的?
光哥
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也可以考虑用冷焰同时开碰撞气的方式,适当提高等离子体功率(例如800w),以提高基体适应性
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原文由 光哥(xsh1234567) 发表:
另外萃取液直接稀释或者不稀释上机,基体会比较大,不太适合冷焰


1.冷模式下,如果加了H2或HE,量测PO基本上就没有感度了,不加H2和He,线性感度也较差

2.冷模式直接测P,会和热模式差不多,呈现一个平的线性,而且背景值很高,11w CPS
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原文由 光哥(xsh1234567) 发表:
也可以考虑用冷焰同时开碰撞气的方式,适当提高等离子体功率(例如800w),以提高基体适应性
您说的是冷模式下测PO,还是测P?这个方法我可以试试看,感谢!
光哥
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原文由 Insm_fda1fab5(Insm_fda1fab5) 发表: 1.冷模式下,如果加了H2或HE,量测PO基本上就没有感度了,不加H2和He,线性感度也较差2.冷模式直接测P,会和热模式差不多,呈现一个平的线性,而且背景值很高,11w CPS
有SiF=47。这个元素以前我做得也不少。
要么试试提高功率到800/900w同时通He,要么换成8900s,要不然最低点50ppt,单杆很难搞。
  另外冷焰同时通氦气,你先试试,不一定是你想的没有感度了。建议专门针对47PO做一个调谐文件,手动调各个透镜参数,调的时候配个P单标,看P单标和DIW,让47PO和DIW中47达到最高信噪比。测试的时候单独调用这个调谐条件做P
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原文由 光哥(xsh1234567) 发表:
加钱8900s
没钱啊。。。
光哥
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原文由 Insm_fda1fab5(Insm_fda1fab5) 发表: 您说的是冷模式下测PO,还是测P?这个方法我可以试试看,感谢!
还是47PO,只是功率加大同时通He